第77章 光刻难题(第2/2 页)
激光等,同时研究与之匹配的光学系统和材料。”
“哇!叶老师这个主意好,叶老师好厉害啊!”
“那我们在提高光刻机精度的同时,又如何有效克服量子效应带来的影响?”
“我们可以深入研究量子力学原理在光刻过程中的表现,开发相应的补偿或抑制技术。”
“叶老师好牛!”
“那叶老师我们要 怎样解决光刻机在纳米尺度下的电子束控制难题?”
“我们研发更先进的电子束聚焦和偏转技术,以及高灵敏度的检测反馈机制。”
“叶老师, 在光刻机实现更高集成度的过程中,要怎样协调各组件之间的相互作用和干扰?”
“我们可以通过系统仿真和模拟,精确分析各组件关系,进行整体优化设计。”
“那如何应对光刻机长时间高负荷运行导致的热膨胀等细微形变问题?
“采用低�
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