第77章 光刻难题(第2/2 页)
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激光等，同时研究与之匹配的光学系统和材料。”
“哇！叶老师这个主意好，叶老师好厉害啊！”
“那我们在提高光刻机精度的同时，又如何有效克服量子效应带来的影响？”
“我们可以深入研究量子力学原理在光刻过程中的表现，开发相应的补偿或抑制技术。”
“叶老师好牛！”
“那叶老师我们要 怎样解决光刻机在纳米尺度下的电子束控制难题？”
“我们研发更先进的电子束聚焦和偏转技术，以及高灵敏度的检测反馈机制。”
“叶老师， 在光刻机实现更高集成度的过程中，要怎样协调各组件之间的相互作用和干扰？”
“我们可以通过系统仿真和模拟，精确分析各组件关系，进行整体优化设计。”
“那如何应对光刻机长时间高负荷运行导致的热膨胀等细微形变问题？
“采用低�
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